我们设计了一种基于静态化学腐蚀法的光控化学腐蚀装置，该装置用于控制光纤探针制备过程。该方法结合光纤光谱仪，通过光谱仪反馈采集信号对腐蚀过程实时监控。由于实验中使用的腐蚀液是氢氟酸溶液——易挥发、有剧毒，因此在无任何方法措施的情况下，无法直接在线观察光纤的连续变化过程。因此通过光纤光谱仪，在光纤腐蚀过程中，实时采集连续变化的光强，并根据光强和光纤的对应变化关系，得到光纤的变化情况。图1与图2说明了这种对应关系。图1是腐蚀过程中，从光纤未腐蚀端收集的光强与时间的关系图。图2是光纤光镜图。
Miaomiao Tao, Yonglong Jin, Ning Gu1,and Lan Huang. A method to control the fabrication of etched optical fiber probes with nanometric tips , J. Opt. 12 (2010) 015503
Figure 1 Light intensity as a function of etching time, and the wavelength is 546nm.
Figure 2 Optical micrographs of fiber probes, initial fiber (o), fibers at intermediate stages during etching (a)-(e)
